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簡要描述：真空等離子清洗機的作用原理主要是：等離子體中的大量離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子，作用到固體樣品表面，不但清除了表面原有的污染物和雜質(zhì)，而且會產(chǎn)生刻蝕作用，將樣品表面變粗糙，形成許多微細坑洼，增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤濕性能。
產(chǎn)品型號：半導(dǎo)體SPA-100廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時間：2024-07-01訪 問 量：9305產(chǎn)品分類
Product Category詳細介紹
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,電子 |
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SPV100真空等離子清洗機產(chǎn)品簡述
（1.1）等離子清洗的作用原理主要是：
（A）對材料表面的刻蝕作用--物理作用等離子體中的大量離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子，作用到固體樣品表面，不但清除了表面原有的污染物和雜質(zhì)，而且會產(chǎn)生刻蝕作用，將樣品表面變粗糙，形成許多微細坑洼，增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤濕性能。
?。˙）激活鍵能，交聯(lián)作用等離子體中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV，因此等離子體作用到固體表面后，可以將固體表面的原有的化學(xué)鍵產(chǎn)生斷裂，等離子體中的自由基與這些鍵形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結(jié)構(gòu)，大大地激活了表面活性。
?。–）形成新的官能團--化學(xué)作用如果放電氣體中引入反應(yīng)性氣體，那么在活化的材料表面會發(fā)生復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng)，引入新的官能團，如烴基、氨基、羧基等，這些官能團都是活性基團，能明顯提高材料表面活性。
（1.2）真空等離子清洗的優(yōu)勢等離子清洗作為重要的材料表面改性方法，已經(jīng)在眾多領(lǐng)域廣泛使用。
與傳統(tǒng)的一些清洗方法，如超聲波清洗、UV清洗等，以下優(yōu)點：
?。ˋ）處理溫度低處理溫度可以低至80℃、50℃以下，低的處理溫度可以確保對樣品表面不造成熱影響。
?。˙）處理全程無污染等離子清洗機本身是很環(huán)保的設(shè)備，不產(chǎn)生任何污染，處理過程也不產(chǎn)生任何污染。
?。–）處理效果穩(wěn)定等離子清洗的處理效果非常均勻穩(wěn)定，常規(guī)樣品處理后較長時間內(nèi)保持效果良好。
（D）可以處理各種形狀的樣品對于復(fù)雜形狀的樣品，等離子清洗都能找到合適的解決方案。真空等離子清洗更可實現(xiàn)對固體樣品內(nèi)部位置進行清洗。
（1.2）產(chǎn)品原理等離子清洗機的結(jié)構(gòu)主要分為四大部分組成：控制系統(tǒng)、激勵電源系統(tǒng)、真空腔體、工藝氣體系統(tǒng)、以及真空泵系統(tǒng)。
(A）控制系統(tǒng)：控制系統(tǒng)的功能在于控制整個設(shè)備的運行，包括人機界面（觸摸屏）、PLC、電氣電路。采用全自動控制系統(tǒng)的真空等離子清洗，可實現(xiàn)多種模式多種程序?qū)η逑丛O(shè)備進行控制，滿足不同客戶的需求。
?。˙）激勵電源系統(tǒng)：激勵電源主要有三類：40KHz的中頻激勵電源，13.56MHz的射頻激勵電源，2.45GHz的微波激勵電源。目前業(yè)界主要采用的是射頻激勵電源和中頻激勵電源。各自應(yīng)用場合不同。
?。–）真空腔體：真空腔體主要是分為三種材質(zhì)的：1）鋁合金腔體，2）不銹鋼真空腔體，3）石英腔體。根據(jù)用戶的不同需求，可實現(xiàn)不同的放電模式和適用不同的樣品尺寸和產(chǎn)能。
?。―）工藝氣體系統(tǒng)：SPV100真空等離子清洗機工藝氣體包括流量計、氣壓閥等，用戶可靈活選擇多路的工藝氣體方案，氬氣、氧氣、氫氣、氮氣、四氟化碳等，可滿足不同工藝方案要求。清洗各種產(chǎn)品表面。
?。‥）真空泵：真空泵分為油泵、干泵、羅茨泵，油泵主要采用雙級旋片泵，根據(jù)用戶所采用的腔體體積、工作效率、環(huán)境要求來制定真空泵的方案。
（2.1）技術(shù)參數(shù)
| 電源系統(tǒng) | 晟鼎定制射頻電源：頻率13.56MHz；功率0~600W可調(diào)； 全自動真空電容匹配器 |
| 真空系統(tǒng) | 晟鼎定制雙級旋片泵（油泵）：60m3/h 可選配晟鼎定制羅茨泵250m3/h 真空計：日本英?？灯だ嵴婵沼?/span> 真空管路：全不銹鋼管路，以及高強度真空波紋管 |
| 腔體系統(tǒng) （可定制） | 鋁合金真空腔體，高級焊接密封，25mm厚度 腔體內(nèi)部尺寸：450×450×500mm（寬×高×深） 電極板布置方式：水平布置，可活動抽取 工作托盤：可選配 空間層數(shù)：8層 |
| 氣體系統(tǒng) | 氣壓閥，日本SMC 流量計，七星華創(chuàng)品牌，0~300SCCM 兩路工藝氣體：氬氣、氧氣 （氬氣、氧氣、氮氣、氫氣、四氟化碳可選） |
| 控制系統(tǒng) | PLC，德國西門子S系列 觸摸屏，威綸通，七寸屏幕 電氣部件：德國施耐德品牌 |
| 其它參數(shù) | 外形尺寸：890×1745×1000mm（寬×高×深） 重量：400KG 顏色：銀灰色 |
（2.2）尺寸參數(shù)
（3）性能優(yōu)勢
（3.1）*電源：采用*高壓激勵電源電路技術(shù)，產(chǎn)生高密度等離子體，確保出眾的清洗效果。
（3.2）全面安全防護：溫度安全防護功能，過載防護功能，短路斷路報警防護功能，各種誤操作保護功能。
（3.3）*放電技術(shù)：特殊處理及特殊結(jié)構(gòu)的放電裝置，確保形成穩(wěn)定均勻的等離子體。
（3.4）密封性的真空腔體設(shè)計：高級的高真空度真空腔體設(shè)計及制造工藝，配置進口真空泵。
（3.5）優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品部件：產(chǎn)品全部部件采用國內(nèi)外優(yōu)質(zhì)部件，確保設(shè)備性能*
（3.6）超低清洗溫度：滿足不同場合溫度要求，不對清洗產(chǎn)品造成溫度影響。
（3.7）精密數(shù)控加工：進口精密CNC數(shù)控機床加工工藝，并配備進口三坐標(biāo)測量儀進行質(zhì)量監(jiān)控。
（3.8）適用形狀復(fù)雜樣品：清洗各種復(fù)雜形狀的產(chǎn)品，包括內(nèi)孔內(nèi)壁，*均勻清洗
（4）案例及定制
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